測量顯微鏡，歷是以的倍率把工件形狀放大以后，通過與模板進行象面比對，進行測量、檢查的顯微鏡。為此，與通常的觀察用顯微鏡不同，它采用與輪廓投影儀相同的遠心光路系統(tǒng)，其物鏡倍率也很。
檢查的主要項目
(1)儀器安裝和使用，應對周圍環(huán)境的安性進行檢查，電源、電壓、LED光源、接地線等是否正確、牢固，應符和要求。
(2)儀器主要部件運動性能檢查：
儀器工作臺、縱、橫滑板導軌、測微器、顯微鏡臂架導軌升降，測角度盤轉(zhuǎn)動等部件，經(jīng)目力觀察和手動試驗，須確認結構安裝可靠，位置，運轉(zhuǎn)性能應舒適完，無松動阻滯和急跳現(xiàn)象存在。
(3)測角目鏡的檢查
a.測量顯微鏡測角目鏡零位的檢查：
b.測量顯微鏡測角目鏡十字線交點與其迥轉(zhuǎn)重合性的檢查;
注意事項
1、密計量儀器的使用、維護是技術性較的工作，對作人員應進行業(yè)技能培訓，掌握要的作技能和建立要的工作檢查制度。
2、對儀器要注意正確合理安排使用。儀器的存放地點應避免灰塵、潮濕、氣溫突變或含有酸堿性的氣體環(huán)境。
3、儀器的光學部件有：目鏡、物鏡、玻璃工作臺等，光學零件的表面油污灰塵清潔，可用脫脂棉花蘸以少許酒和乙醚混合液，輕輕揩拭，切勿將鏡片擦毛。
4、儀器維護、保養(yǎng)、調(diào)試，未經(jīng)技術培訓不具備業(yè)技能的人員不得隨意拆卸調(diào)試和清洗加油。若需修理調(diào)試，可向當?shù)厣袒蛑苯雍臀夜尽?/div>
5、電源系統(tǒng)出現(xiàn)故障，需先切斷電源，再進行檢查。透射照明燈泡需要*換燈泡，拆除底蓋，進行檢查*換。
測量顯微鏡等密計量儀器都要注意保養(yǎng)和維護。
近來隨著測量顯微鏡光學系統(tǒng)制作倍率的*加，也可以組合使用具有高倍率觀察、微分干涉觀察、簡易偏光觀察等功能的通用型光學頭。在高倍率觀察時，還可以使用FA（輔助對焦）鏡筒進行高度測量，可以通過縮小視在的景深，提高Z軸方向測量的重復度。測量顯微鏡配上數(shù)碼相機，還可以拍攝數(shù)碼相片。多種選配功能，使得測量顯微鏡的應用越來越廣。
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